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Sonoscan超聲波 SEM

發布日期:2017-05-12 14:43

微電子學領域

? 塑料封裝IC

? 陶瓷電容器

? 模片固定、載芯片板(COB)

? 芯片型封裝(CSP)

? 倒裝晶片

? 堆疊型封裝

? 卷帶式自動接合(TAB)

? 混和技術、MCM、SIP

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微電子機械系統 (MEMS)


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軍事/航空/汽車


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材料

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其他

? 芯片實驗室、生物芯片和微陣列芯片

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電子顯微鏡系統 Pentron PS230/250

PEMTRON提供出色的電子顯微鏡系統SEMARTTM,高效率的成像過程、人性化的操作接口和極佳的影像。

款式:標準型及五軸電動型

分辨率:3.0nm 放大倍數:10× ~ 300,000×

探測器:二次電子探測器,背向散射電子探測器(選配),EDAX能譜儀(選配)

電子光學系統:

加速電壓:0.5kV ~ 30kV 電子槍:W形發夾式燈絲

透鏡系統:三透鏡式聚焦系統 物鏡光闌:30/50/100/200μm(可變光圈)

自動功能:自動聚焦,自動亮度對比度,自動消象散,自動飽和,自動對中

顯示系統:

減少聚焦模式:320 × 240像素 TV 模式I:800 × 600像素

TV 模式II:800 × 600像素 照相模式1:800 × 600像素

照相模式2:1280 × 960像素 照相模式3:1600 × 1200像素

照相模式4:3200 × 2400像素

樣品承載臺規格:

X:80mm,Y:60 mm,Z:50 mm,T:-10° ~ +90°,R:360°

最大樣品尺寸:100mm(直徑) × 100mm(高度)

EDAX Apollo X能譜儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)

優秀的能量分辨率可測至鈹

高分辨率

高速采集

無液氮制冷型探測器